Puhdistus

Kaasujen puhdistaminen
Epäorgaaniset uusiutuvat aineet puhdistavat kaasut huoneenlämmössä muutaman ppt:n (parts per trillion) tasolla. Entegrisin innovatiiviset mikrokontaminaatioiden hallintatuotteet tuovat asiakkaiden ulottuville uusimman teknologian ja auttavat heitä vastaamaan haasteisiin monimutkaisten laitteiden, fotosähköisten tuotteiden ja litiumioniakkujen valmistuksessa sekä biotieteissä.

Nesteiden puhdistaminen
Metalli-ionikontaminaatioiden puhdistamiseen. Entegrisin nesteiden puhdistustekniikat suojaavat metalli-ionikontaminaatioilta poistamalla metalli-ionit ultrapuhtaasta vedestä ja tietyistä orgaanisista liuottimista. Soveltuvat kriittisiin puhdistustarkoituksiin, kuten deionisoidulla vedellä huuhteluun, kertakulkuisiin prosessityökaluihin, kiekkojen kuivattamiseen ja CMP-prosessin jälkeiseen puhdistamiseen.