Suodatus

Entegris tarjoaa erilaisiin tekniikoihin ja laatukriteereihin perustuvia suodatusratkaisuja ja analysointipalveluita, joilla teknisten ympäristöjen kontaminaatiot voi havaita ja materiaalit analysoida ja validoida.

Kaasujen suodattaminen

Nikkelistä, ruostumattomasta teräksestä ja Teflonista® valmistetut suodattimet. Ultrapuhtaalla kaasulle tarkoitetut Entegris-suodatustuotteet suodattavat 0,003 mikronin kokoiset hiukkaset. Wafergard®-kaasusuodattimet suodattavat kaasuja entistä tehokkaammin mutta vievät aiempaa vähemmän tilaa. Ultrapuhtaalle kaasulle tarkoitettuja Entegris-suodatustuotteita käyttävät kaikki suurimmat puolijohteiden alkuperäiset laitevalmistajat sekä etsaus-, CVD-, PVD- ja ioni-implantointityökalujen valmistajat. Niitä käytetään myös tuotannossa seuraavilla osa-alueilla: fotosähköiset tuotteet, litteät näytöt, tietojen tallennus, HBLED (high brightness -LED-valot), life sciences ja litiumioniakut. VWR:n kaasunpuhdistimissa käytettävät Entegris-kaasusuodattimet säilyttävät prosessit ja kaasut molekyylittöminä ja hiukkasettomina.

Nesteiden suodattaminen

Prosessinesteiden kontaminaatioiden hallintaan. Kontaminaatioiden hallinta mahdollistaa tekniset edistysaskeleet ja tehostaa tuotantoa seuraavilla osa-alueilla: puolijohteet, litteät näytöt, tietojen varastointi, fotosähköiset kennot, biotieteet ja litiumioniakut. CMP-lietteet, hapot, emäkset, fotokemia ja deionisoitunut vesi edellyttävät tehokasta suodatusta, jotta veteen tai alusaineeseen ei pääse ongelmia aiheuttavia hiukkasia ja kasaantuvia aineita. Entegrisin kattava suodatinvalikoima ratkaisee kontaminaatioiden hallintaongelmat.